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1515ミニエン |
1515ミニエン |
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2020ミニエン |
2020ミニエン |
同じミニエンで一般環境から運転を始めて30秒ごと(5分間)の清浄度の変化を調べました。 1515の場合でも2020の場合でもクリーンブース内の4点において、ほとんどの場合、CSバルーン付きの方が早く清浄度がよくなります。 |
アプリケーション例 |
◆半導体デバイス、フラットパネルディスプレーの後工程。 ◆デジタル家電、エレクトロニクス関係の実装、組み立て、検査、梱包出荷工程。 ◆ガラス、プラスチック、フィルムなどの成形、加工、洗浄、成膜、検査工程。 ◆食品・化粧品・製薬の検査、梱包出荷工程、品質管理。 ◆ナノテク関連。 ◆大学研究室。 ◆そのほかクラス1000~クラス10000程度の清浄空間が必要な工程全般。 |
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シーズシー株式会社
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